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李曼
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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文化科学
自动化与计算机技术
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合作作者
马嘉
北京七星华创电子股份有限公司
李春彦
北京七星华创电子股份有限公司
裴立坤
北京七星华创电子股份有限公司
昝威
北京七星华创电子股份有限公司
何金群
北京七星华创电子股份有限公司
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马嘉
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:压力传感器 工艺过程 晶片 卡盘 声波换能器
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李春彦
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:补液 药液温度 加热功率 自动化控制技术 压电晶体
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昝威
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:管路 处理系统 分析仪 化学制剂 切换
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裴立坤
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
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何金群
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 补液 循环泵 气动阀 管路
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韩雷刚
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:分配器 回收 中间层 吹气 串级
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