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张连清

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇基板
  • 4篇侧板
  • 3篇修整器
  • 3篇抛光
  • 3篇抛光液
  • 3篇装卸
  • 3篇机械手
  • 2篇直线轴承
  • 2篇托架
  • 2篇轴承
  • 2篇装载
  • 2篇卸载
  • 2篇晶圆
  • 2篇举升
  • 1篇单频激光干涉...
  • 1篇控制精度
  • 1篇激光干涉
  • 1篇激光干涉仪
  • 1篇光干涉仪
  • 1篇干涉仪

机构

  • 7篇清华大学

作者

  • 7篇张连清
  • 6篇路新春
  • 6篇沈攀
  • 6篇何永勇
  • 4篇梅赫赓
  • 4篇许振杰
  • 4篇雒建斌
  • 4篇裴召辉
  • 4篇赵德文
  • 4篇王同庆

年份

  • 2篇2012
  • 4篇2011
  • 1篇1991
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
一种用于化学机械抛光设备的晶圆交换装置
本发明为一种用于化学机械抛光设备的晶圆交换装置，属于化学机械抛光设备技术领域，包括一举升架，举升架上部通过中空腔体与举升架下部贯通连接，举升架下部上安装有控制举升架升降的第一气缸和直线轴承，导向轴穿过直线轴承，举升架上部...
路新春张连清沈攀何永勇
文献传递
化学机械抛光机的抛光头支架
本实用新型公开一种化学机械抛光机的抛光头支架，包括：水平基板，所述水平基板形成有在其厚度方向上贯通的凹槽，所述凹槽在水平基板的纵向一端敞开且朝向水平纵向另一端延伸；和支撑侧板，所述支撑侧板分别与水平基板相连且分别位于所述...
路新春许振杰何永勇王同庆沈攀赵德文梅赫赓张连清裴召辉雒建斌
文献传递
化学机械抛光机及具有它的化学机械抛光设备
本发明公开一种化学机械抛光机，包括：工作平台，抛光盘，修整器和抛光液输送装置，装卸平台，抛光头，机械手，和抛光头支架，所述抛光头支架安装在工作平台上表面上且包括水平基板和支撑侧板，所述水平基板形成有在其厚度方向上贯通的凹...
路新春许振杰何永勇王同庆沈攀赵德文梅赫赓张连清裴召辉雒建斌
文献传递
化学机械抛光机及具有它的化学机械抛光设备
本发明公开一种化学机械抛光机，包括：工作平台，抛光盘，修整器和抛光液输送装置，装卸平台，抛光头，机械手，和抛光头支架，所述抛光头支架安装在工作平台上表面上且包括水平基板和支撑侧板，所述水平基板形成有在其厚度方向上贯通的凹...
路新春许振杰何永勇王同庆沈攀赵德文梅赫赓张连清裴召辉雒建斌
一种用于化学机械抛光设备的晶圆交换装置
本发明为一种用于化学机械抛光设备的晶圆交换装置，属于化学机械抛光设备技术领域，包括一举升架，举升架上部通过中空腔体与举升架下部贯通连接，举升架下部上安装有控制举升架升降的第一气缸和直线轴承，导向轴穿过直线轴承，举升架上部...
路新春张连清沈攀何永勇
化学机械抛光机及具有它的化学机械抛光设备
本实用新型公开一种化学机械抛光机，包括：工作平台，抛光盘，修整器和抛光液输送装置，装卸平台，抛光头，机械手，和抛光头支架，所述抛光头支架安装在工作平台上表面上且包括水平基板和支撑侧板，所述水平基板形成有在其厚度方向上贯通...
路新春许振杰何永勇王同庆沈攀赵德文梅赫赓张连清裴召辉雒建斌
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应用SSPDA的单频激光干涉仪的实验研究
张连清
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