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马玲

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 6个电子电信
  • 5个一般工业技术
  • 4个机械工程
  • 3个金属学及工艺
  • 3个电气工程
  • 3个环境科学与工...
  • 3个文化科学
  • 3个理学
  • 2个化学工程
  • 1个经济管理
  • 1个哲学宗教
  • 1个生物学
  • 1个自动化与计算...
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个医药卫生
  • 1个农业科学

主题

  • 6个形貌
  • 6个光刻
  • 6个光刻工艺
  • 4个电感耦合
  • 4个电感耦合等离...
  • 4个电阻率
  • 3个电子束蒸发
  • 2个氮化硅
  • 2个氮化硅薄膜
  • 2个导电
  • 2个导电材料
  • 2个导体
  • 2个导体材料
  • 2个等离子
  • 2个等离子体预处...
  • 2个低应力
  • 2个电镀
  • 2个电极
  • 2个电路
  • 2个电子束直写

机构

  • 6个上海交通大学
  • 1个复旦大学

资助

  • 6个国家自然科学...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个上海市青年科...
  • 1个上海市卫生系...
  • 1个上海市自然科...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个高等学校全国...
  • 1个霍英东青年教...
  • 1个教育部“新世...
  • 1个上海市科学技...

传媒

  • 6个电子工艺技术
  • 4个微纳电子技术
  • 4个真空科学与技...
  • 3个半导体技术
  • 3个实验室研究与...
  • 3个实验技术与管...
  • 2个红外技术
  • 2个功能材料
  • 2个材料导报
  • 2个真空
  • 2个真空与低温
  • 2个半导体光电
  • 1个高等学校化学...
  • 1个低温与超导
  • 1个口腔医学
  • 1个中国机械工程
  • 1个材料保护
  • 1个化学学报
  • 1个上海交通大学...
  • 1个自然科学进展

地区

  • 6个上海市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
王凤丹
供职机构：上海交通大学
研究主题：电子束蒸发 金膜 钨 坩埚 叶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付学成
供职机构：上海交通大学电子信息与电气工程学院
研究主题：电子束蒸发 坩埚 金膜 原子层沉积 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王英
供职机构：上海交通大学
研究主题：金纳米粒子 电子束蒸发 金膜 坩埚 高温退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘民
供职机构：上海交通大学电子信息与电气工程学院
研究主题：电感耦合等离子体 ICP刻蚀 多孔结构 热导率 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李进喜
供职机构：上海交通大学
研究主题：形貌 光刻工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈赟靓
供职机构：上海交通大学
研究主题：半导体 微纳加工 磁控溅射 钛 功率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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