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许振杰

作品数：50 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺交通运输工程建筑科学更多>>

合作作者

领域

  • 17个电子电信
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主题

  • 19个晶圆
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  • 16个化学机械抛光
  • 16个机械抛光
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  • 6个电机
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  • 5个登录
  • 4个氮化

机构

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资助

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传媒

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  • 2个科技导报
  • 2个机械设计
  • 2个功能材料

地区

  • 21个北京市
共 21 条 记 录，以下是 1-10
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈攀
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 化学机械抛光 机械手 修整
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何永勇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴召辉
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 刷洗 毛刷 机械手 组件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王同庆
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周顺
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 缸体 活塞杆 扭矩 机器人系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵德文
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梅赫赓
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 刷洗 抛光液 毛刷 侧板
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭振宇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 干燥装置 组件 装载装置 刷洗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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